Streudüsen verwenden niedrig Druckluft/Gas, um gleichmäßige, breite Sprühmuster zu erzeugen, wobei jede Düse je nach Abstand vom Substrat bis zu 9,8 Zoll (25 Zentimeter) in der Lage ist. Die Geschwindigkeit des Luftstroms ist kontrollierbar, um einen niedrigen oder hohen Einfluss des atomisierten Sprays auf das Produkt oder Substrat zu ermöglichen. Mehrere Düsen, die in Reihe verbunden sind, können unendliche Breite erreichen. Streudüsendesign wird für stark wiederholbare breite Muster in schlanken Düsen verwendet.
Die Ultraschalldüse vom Streutyp ist eine Ultraschall -Atomisierungsdüse mit einem Zyklonkegelspray. Es verwendet die Ultraschall -Zerstäubendüsentechnologie, und durch das spezielle Wirbelströmungskanal -Design wird das Trägergas in einen gleichmäßigen rotierenden Luftstrom umgewandelt, so dass die Ultraschallgebäude des flüssigen Nebels in Form eines Zyklonsprays verteilt ist, wodurch das Spray erweitert wird Bereich des Zerstäubers. Ultraschalldüsen können auch auf vertikale oder gekrümmte Oberflächen und andere Winkelsubstrate besprüht werden.
Die typische Anwendung von Streu -Ultraschalldüsen ist die Photoresist -Beschichtung auf Halbleiterchips, in denen der Photoresist auf die Halbleiterchips gesprüht wird. Aufgrund der Rotationsstreuung des Nebels, der durch die Ultraschalldüse vom Streutyp emittiert wird, kann nicht nur auf der Waferebene ein einheitlicher Photoresistfilm gebildet werden, sondern auch an den Seitenwänden und Ecken der Wafermikrostruktur. Darüber hinaus kann der Streutyp -Ultraschalldüse auch für Dünnfilm -Solarzellenbeschichtungen, Calcium -Titanat -Solarzellenbeschichtungen, AR -Transmissions- und Reflexionsfilmbeschichtungen, Thermisolierungsfilmbeschichtungen, superhydrophobe Beschichtungsbeschichtungen, PCB -Flusspatzierungen und andere Anwendungen verwendet werden.
Prinzip:
Ultraschalldüsen wandeln Hochfrequenzschallwellen durch piezoelektrische Wandler in mechanische Energie um und wandeln dann die mechanische Energie in Flüssigkeit um. Diese Längsschnitt -Vibration nach oben und unten erzeugt stehende Wellen im Flüssigkeitsfilm an der Spitze der Ultraschalldüse, wobei die Amplitude dieser Wellen von einem Stromerzeuger gesteuert werden kann. Diese stationären Flüssigkeitswellen können sich von der Oberseite der Ultraschalldüse nach oben erstrecken. Wenn die Tröpfchen die Atomisierungsoberfläche der Düse lassen, werden sie in einen gleichmäßigen feinen Nebel von Tröpfchen in Mikrometergröße zersetzt.
Im Gegensatz zu Druckdüsen verwenden Ultraschalldüsen keinen hohen Druck, um Flüssigkeit durch ein kleines Loch zu erzwingen, um Sprüh zu erzeugen. Die Flüssigkeit tritt ohne Druck durch ein relativ großes Düsenzentrum ein und wird durch Ultraschallvibrationen innerhalb der Düse zerfummt.
Jede Ultraschalldüse arbeitet mit einer bestimmten Resonanzfrequenz, die die mittlere Größe des Tröpfchens bestimmt. Der Unterschied in der Tröpfchengröße ist sehr gering und seine Verteilung kann in einem bestimmten Bereich durch mathematische Berechnungen genau vorhergesagt werden. Beispielsweise erzeugt eine 120 -kHz -Düse eine mittlere Tröpfchengröße von 18 Mikrometern beim Sprühen von Wasser. Je höher die Frequenz, desto kleiner ist die Abnahme des Medianwerts.
Vorteil:
1. Große Oberflächensprühung, Sprühbreite: 40-150 mm
2. Coating uniformity:>95% Einheitlichkeit
3..
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5. Fein atomisierte Partikel
6. gleichmäßig atomisierte Partikel
7. kann zeitweise oder kontinuierlich besprüht werden
8. Ultra niedriger Sprühdurchfluss
9. Wird die Düse nicht blockieren
10. Anti -Korrosionsdüse
11. Hoch präzisions kontrollierbares Sprühen
