Polyimid- und Photoresist -Ultraschallsprühsystem

Ultraschall -Sprühsysteme sind für verschiedene Anwendungen geeignet, die einheitliche und wiederholbare Photoresist- oder Polyimid -Filmbeschichtungen erfordern. Durch die Steuerung der Dicke von Submicron auf über 100 Mikrometer und in der Lage, jede Form oder Größe zu beschichten, sind Beschichtungssysteme eine praktikable Alternative zu anderen Beschichtungstechniken wie Rotary und herkömmlichem Sprühen.

Zu den häufigen Anwendungen von Polyimid- und Photoresistbeschichtungen gehören, ohne auf MEMs, Linsen, mikrofluidische Geräte, Mikroelektronik und Filter zu beschränken. Beschichtungssysteme können flache und 3D -Substrate beschichten, einschließlich Siliziumchips, Glas, Keramik und Metallen.

Ultraschallsprühung ist ein einfacher, wirtschaftlicher und reproduzierbarer Prozess für die Überbeschichtung von Photoresist und Polyimid. Das Ultraschallbeschichtungssystem kann die Durchflussrate, die Beschichtungsgeschwindigkeit und die Ablagerungsmenge unter Verwendung einfacher Schichttechniken genau steuern. Niedergeschwindigkeitsspray -Formfleisch definiert atomisiertes Spray als genaues und kontrollierbares Muster, um Überspray zu vermeiden und sehr dünne und gleichmäßige Schichten zu erzeugen.

Vorteile von Ultraschallpolyimid- und Photoresistbeschichtungen:

1. Einheitliche Filmabdeckung verschiedener Oberflächenkonturen.
2. hohe Flexibilität bei chemischen und Beschichtungseigenschaften.
3.. Nicht verstopfte Atomisierungsspray.
4. Hohe Übertragungseffizienz mit minimalem Abfall.
5. Hoch reproduzierbarer reifen Sprühprozess.

Das Ultraschallsprühsystem verwendet Hochfrequenz-Schallvibrationen, um einen weichen Nebel aus mathematisch definierten Tröpfchen zu erzeugen. Die Verstopfung wird beseitigt, da zum Erzeugen von Sprühnebel kein Druck verwendet wird und die Tröpfchen eine sehr schmale Tröpfchenverteilungsgröße aufweisen, was weiter zur Gleichmäßigkeit der Ablagerungsschicht beiträgt.