40-kHz-Ultraschall-Zinnzerstäubungs-Metallpulversprühen

Das 40-kHz-Ultraschall-Zinnzerstäubungs-Metallpulversprühen ist eine fortschrittliche Metall-Dünnfilm-Abscheidungstechnologie, die hauptsächlich in der Elektronik- und Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Sein Funktionsprinzip besteht darin, die geschmolzene Zinnflüssigkeit mithilfe hochfrequenter Ultraschallvibrationen in ultrafeine Tröpfchen zu zerstäuben und diese Tröpfchen dann auf die Oberfläche des Substrats zu sprühen, um einen gleichmäßigen und dichten Zinnfilm zu bilden.
Die Ultraschall-Zinnzerstäubung ist eine effiziente, bei niedriger Temperatur arbeitende und äußerst gleichmäßige Metallfilmabscheidungstechnologie mit breiten Anwendungsaussichten in Bereichen wie Elektronik, Optoelektronik und Solarzellen.

Parameter:

 

1. Prozesstemperatur senken. Durch die Ultraschallzerstäubung kann eine Dünnschichtabscheidung bei niedrigeren Substrattemperaturen erreicht werden und ist für temperaturempfindliche Materialien geeignet.
2. Höhere Sedimentationsrate. Die Abscheidungsrate der Ultraschallzerstäubung kann mehrere zehn Mikrometer pro Minute erreichen und ist damit deutlich höher als bei PVD und CVD.
3. Gute Filmgleichmäßigkeit. Durch Ultraschallzerstäubung kann ein äußerst gleichmäßiger dünner Film auf der Oberfläche des Substrats gebildet werden.
4. Hohe Energienutzungseffizienz. Im Vergleich zu Methoden wie der Elektronenstrahlverdampfung ist die Ausnutzungsrate von Zinnpartikeln höher.

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