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Fortschrittliche Ultraschall-Beschichtungstechnologie für das Besprühen nackter Wafer
Artikel-Nr.: FS620
Frequenz: 20-200KHz
Leistung: 1-15w
Kontinuierliche Sprühmenge (max): 0,01-1ml/min
Effektive Sprühbreite: 0.5-2mm
Sprühgleichmäßigkeit: Größer oder gleich 95 %
Lösungsviskosität: Weniger als oder gleich 15 cps
Sprühhöhe: 10-20mm
Gerätebeschreibung:
Das Ultraschallspritzen von nackten Wafern ist eine fortschrittliche Beschichtungstechnologie, die in den Bereichen Halbleiterfertigung und Mikroelektronik eingesetzt wird. Unter nackten Wafern versteht man Halbleiterwafer, die keiner Verpackung oder Verarbeitung unterzogen wurden und typischerweise zur Herstellung integrierter Schaltkreise und mikroelektronischer Geräte verwendet werden. FUNSONIC zerstäubt die Beschichtung durch Ultraschallvibrationen und bildet winzige Tröpfchen, die gleichmäßig auf die Oberfläche des blanken Wafers gesprüht werden, wodurch eine gleichmäßige Beschichtungsdicke gewährleistet und Beschichtungsfehler reduziert werden.
Parameter:

Anwendung :
1. Fotolackbeschichtung: Wird für die Fotolackbeschichtung in Fotolithografieprozessen verwendet, um eine gleichmäßige Abdeckung des Fotolacks sicherzustellen.
2. Schutzbeschichtung: Bietet Schutz für blanke Wafer, um zu verhindern, dass Umweltfaktoren die Wafer beeinträchtigen.
3. Funktionelle Beschichtung: In spezifischen Anwendungen können funktionelle Materialien wie leitfähige, isolierende oder wasserdichte Beschichtungen aufgesprüht werden.



Warum Sie uns wählen sollten:

Anwendung:




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