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40-kHz-Ultraschall-Fotoresistbeschichtung mit breiter Streuung auf Halbleiterchips-Ultraschalldüsen
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40-kHz-Ultraschall-Fotoresistbeschichtung mit breiter Streuung auf Halbleiterchips-Ultraschalldüsen

40-kHz-Ultraschall-Fotoresistbeschichtung mit breiter Streuung auf Halbleiterchips-Ultraschalldüsen

Artikel-Nr.: FSW-4002-L
Frequenz: 40 kHz
Leistung: 1-15 W
Kontinuierliche Sprühmenge (maximal): 0,5–20 ml/min
Effektive Sprühbreite: 40–80 mm
Gleichmäßigkeit des Sprühens: Größer oder gleich 95 %
Lösungsviskosität: Weniger als oder gleich 30 cps
Umleitungsdruck:<0.05Mpa

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Beschreibung:

 

40-kHz-Ultraschall-Fotolackbeschichtung mit breiter Streuung auf Halbleiterchips Ultraschalldüsen ist die Fotolackbeschichtung auf Halbleiterchips, bei der der Fotolack auf die Halbleiterchips gesprüht wird. Aufgrund der Rotationsstreuung des von der Ultraschallstreudüse abgegebenen Nebels kann ein gleichmäßiger Photoresistfilm nicht nur auf der Waferebene, sondern auch auf den Seitenwänden und Ecken der Wafermikrostruktur gebildet werden. Darüber hinaus können streuende Ultraschalldüsen auch für Dünnschicht-Solarzellenbeschichtungen, Calciumtitanat-Solarzellenbeschichtungen, AR-Transmissions- und Reflexionsfilmbeschichtungen, Isolierfilmbeschichtungen, superhydrophobe Beschichtungen, PCB-Flussmittelbeschichtungen und andere Anwendungen verwendet werden.
Um den Anforderungen des großflächigen Streusprühens von Ultraschallwellen auf Halbleiterchips gerecht zu werden, hat FUNSONIC die Streudüse speziell entwickelt, um einen großen Sprühbereich zu erzielen, der eine gleichmäßige Beschichtung des Resists auf dem Chip ermöglicht und die Genauigkeit der Musterübertragung gewährleistet.
 

 

Parameter:

 

FSW-4002-L

 

Prinzip:

1. Bildung eines Flüssigkeitssprays: Der Wandler ist mit dem Flüssigkeitssprühsystem verbunden, normalerweise einer Düse oder einem Flüssigkeitsbehälter. Wenn der Wandler vibriert, überträgt er Vibrationsenergie auf die Flüssigkeit im Sprühsystem. Diese mechanische Vibration wirkt auf die Flüssigkeit und erzeugt intensive Flüssigkeitsbewegung und Scherkräfte.

2. Flüssigkeitsscherung und Zerstäubung: Die heftige Bewegung und Scherkraft der Flüssigkeit führen zur Bildung kleiner Tröpfchen. Diese Tröpfchen werden im Sprühsystem zerstäubt und bilden einen Sprühnebel.

3. Sprühvorgang: Der erzeugte Sprühnebel kann durch geeignete Düsen und Sprühparameter gezielt auf die Zieloberfläche gesprüht werden. Die Größe und Verteilung der Sprühpartikel kann durch Anpassen der Frequenz, der Amplitude der Ultraschallschwingung und der Sprühparameter gesteuert werden.

 

 

Ultrasonic Spray Coated Machine 2

 

Anwendung:

 

Ultrasonic Spray Coating Application 8
Ultrasonic Spray Coating Application 18
Ultrasonic Spray Coating Application 10
Ultrasonic Spray Coating Application 11
Zertifizierung

 

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Unser Labor

 

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Lab

 

Unsere Produktionslinie

 

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Verpackung und Lieferung

 

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Unser Team

 

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Firmenausstellung

 

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